在单点金刚石超精密切削中,刀具的磨损首先改变了刀具原有的几何尺寸精度和刃口半径及完整性,相应也就会影响到被加工表面的粗糙度,加工变质层和面形精度,同时导致能耗增加，加剧加工的不稳定性，严重影响超精密加工过程的正常进行。
Erkin Sidick， “Power spectral density specification and analysis of large optical surfaces，” Proc. SPIE 7390， Modeling Aspects in Optical Metrology II， 73900L ;
