每经记者：朱成祥 每经编辑：梁枭9月9日，工信微报微信公众号发文披露《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。其中，在电子专用设备一栏，氟化氪光刻机、氟化氩光刻机位列其中。该资料显示，氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度。
在芯片制造的世界里，有一个“大块头”一直是中国科技界的心头痛，它就是光刻机，被誉为“芯片之母”。根据工信部宣布，国产氟化氩光刻机已经问世，这似乎意味着我们终于可以摆脱“卡脖子”的困境了，但事情似乎没那么简单，国产光刻机真的能与ASML的一较高下吗?
