在今年的半导体行业大会Semicon China同期举办的IC产业链国际论坛-制造设备与制程分论坛上,半导体设备厂商新凯来高管分享了半导体工艺装备的机遇挑战,新凯来正在利用多重图形曝光等技术提升芯片制造工艺。