在全球半导体产业巨变中,中国正突破量检测装备“卡脖子”难题——新凯来3年攻克13类关键产品,核心零部件100%国产化。VLSI Research 携手 QY Research 的联合研究数据显示,该行业的 CR5 指数高达 82%。
在今年的半导体行业大会Semicon China同期举办的IC产业链国际论坛-制造设备与制程分论坛上,半导体设备厂商新凯来高管分享了半导体工艺装备的机遇挑战,新凯来正在利用多重图形曝光等技术提升芯片制造工艺。