如下图所示,这是光刻机类型,对应的芯片工艺。至于5nm芯片之后,那就必须使用EUV这种极紫外线光刻机了,用DUV光刻机已经制造不出来了,因为DUV光刻机的光线波长经水折射也也毕竟有134nm,波长太长,分辨率不够。