中科院固体激光DUV
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中科院固态激光和新凯莱推出半导体国产装备 #新凯莱 #固态激光
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我国或生产首台DUV光刻机 #掘金计划2024 #科技 @果酱Cici
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中科院研发新型激光光刻技术：不用EUV直击5nm，你怎么看？
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