【新凯来：已开发6大类半导体工艺和量检测装备】《科创板日报》27日讯，在SEMICON China 2025 IC产业链国际论坛上，新凯来工业机器有限公司工艺装备产品线总裁杜立军表示，AI、智能驾驶等产业对算力需求及增长，推动半导体装备市场稳步增长。
3月26日-27日，深圳新凯来工业机器有限公司在SEMICON China 2025上发布了5款工艺设备新品，包括外延沉积设备EPI、原子层沉积设备ALD、物理气相沉积设备PVD、刻蚀设备ETCH、薄膜沉积设备CVD。
