在3月26日开幕的,SEMICON China 2025大会上,除了国产半导体设备龙头北方华创,重磅宣布正式进军离子注入设备、电镀设备市场,并发布首款离子注入机Sirius MC 313、12英寸电镀设备Ausip T830之外。
3月26日-27日,深圳新凯来工业机器有限公司在SEMICON China 2025上发布了5款工艺设备新品,包括外延沉积设备EPI、原子层沉积设备ALD、物理气相沉积设备PVD、刻蚀设备ETCH、薄膜沉积设备CVD。