光刻机所采用的光源主要为波长 248nm 的 KrF 光源、波长 193nm 的 ArF光源和波长 13.5nm 的 EUV 光源，业内主要供应商为美国 Cymer，并由光刻机巨头 ASML 于 2012 年以 25 亿美元收购。
近日，中国政府网发布视频《机器人群侠传》，全方位展示了我国在机器人领域的前沿成果。视频展示了包括“黑豹2.0”四足机器人、宇树科技UnitreeB2-W机器狗、凯尔达、星动纪元、众擎在内不同型号的人形机器人，视频末尾突出以科技创新引领新质生产力发展。
1月16日，深圳市汇川技术股份有限公司（汇川技术，300124.SZ)在深交所互动易平台表示，关于低空经济产业的相关布局，公司处于洞察与早期的研发阶段；关于人形机器人产业，公司正在积极开发电机、驱动、执行器模组等人形机器人相关的零部件产品。
