在最近的 SPIE Advanced Lithography + Patterning Conference 上,来自 Intel 的 Mark Phillips 对 0.55 高数值孔径极紫外光刻技术的引进现状进行了有见地的更新。
光刻机作为集成电路生产中不可或缺的重要设备之一,一直以来都决定了先进制程的发展速度,而阿斯麦(ASML)是欧洲最大的技术公司,主导着光刻市场。近期,光刻巨头荷兰半导体设备公司阿斯麦首席执行官Peter Wennink表示,今年将按计划在其下一个产品线中推出首款测试工具。
大家都比较熟悉ASML的高端EUV光刻机,受美国法规限制,禁止出口到我们国家!但是称霸全球的ASML光刻机到底都有哪些型号,本文将逐条梳理一下。此外,再介绍一下光刻机的技术迭代历程,以及全球四大厂家主要的光刻机型号。