9月9日,工信部网站发布了一条消息,虽然看起来很普通,但它就像一颗深水炸弹,让全球半导体行业都炸开了锅。最新发布的“重大技术装备推广应用指导目录”里,出现了“氟化氩光刻机”这个名字,而且明明白白地写着:“这是我们自主研发的,从无到有,实现了一项重大突破!
中美冲突加剧,美国执意对中国“卡脖子”,技术突破刻不容缓,当前我国国产EUV光刻机进展如何?由于目前与国际领先水平相差较大的国内技术,以及其在高科技领域的重要战略地位,光刻机是当下国内最受关注的半导体设备,同时该领域也是受到美国技术封锁的重要领域。