近日,荷兰的光刻机巨头企业“阿斯麦”表示,中国科技企业“东方晶源”的产品,对阿斯麦的知识产权,造成了较为严重的侵犯,表示“东方晶源”的产品技术来源,是与一家此前已经被阿斯麦投诉过的美国公司有关,而这家美国公司就曾经对阿斯麦造成侵权,并且目前已经破产。
ASML有多重要,ASML生产的EUV光刻机有多重要,相信每一个关注芯片产业的人都清楚。在当前情况之下,任何一家芯片企业,如果工艺想进入7nm及以下,ASML的EUV光刻机就必不可少,因为只有它能够生产。
2021年,在中国企业未来发展论坛中,北京大学国家发展研究院名誉院长林毅夫先生就引用光刻机的巨头荷兰阿斯迈CEO的话,预测中国将在三年后造出一台EUV光刻机,而今2023年,离林毅夫先生提出的三年之期只剩下不到一年时间,期限已至,我国的光刻机制造进度究竟如何?
芯片的重要性不言而喻,航天军工、汽车电子、工业工控、消费电子都离不开芯片,而制造芯片最核心的设备就是光刻机。因为《瓦森纳条约》、美日荷半导体设备出口限制等原因,国产晶圆厂一直都无法购买到先进的光刻机,导致国产芯片工艺停留在7nm,而台积电、三星都进入3nm时代了。