近日，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在浙大余杭量子研究院完成研发并进入应用测试阶段。该设备精度达到0.6nm，线宽8nm，专攻量子芯片和新型半导体研发的核心环节，可通过高能电子束在硅基上“手写电路”，无需掩膜版即可灵活修改设计，其精度已比肩国际主流设备。
周一，A股市场上光刻机板块强势拉升，波长光电、茂莱光学等个股大涨，板块整体涨幅为3.35%。在政策支持及国产替代的双轮驱动下，光刻机产业链正迎来黄金发展期。机构分析指出，随着国内晶圆厂扩产及技术突破，千亿级市场空间即将打开，具备核心竞争力的企业将率先受益。
8月14日，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”进入应用测试的消息引发广泛关注。其工作原理如同用纳米级毛笔在硅基上“手写”电路，彻底改变了传统芯片研发中依赖掩膜版导致的高成本、长周期困境，大幅降低了量子芯片等前沿领域的研发门槛，因此得名于书法家王羲之，堪称递向芯片研发的“纳米神笔”。
国产光刻机的自主发展，已成为关乎国家战略安全与科技命脉的必然选择。光刻机关联:参股公司思坦科技联合攻关开发了基于高功率 AlGaN 深紫外 Micro-LED 显示的无掩膜光刻技术，在 Micro-LED 无掩膜光刻领域取得了突破性成果，也标志着半导体行业的制造工艺即将迎来革命性进展。
最新消息催化:中国半导体设备市场规模突破500亿美元，国产光刻机市占率提升至30%;光刻机已升级为“芯片制造皇冠明珠”，2025年全球光刻机市场规模突破300亿美元，中国光刻机产业链自主化率提升至40%，成为半导体产业自主可控关键突破口。
7月15日早盘，A股整体震荡上行，光模块、光通信、光芯片、电路板、AI算力等概念领涨两市，通信、电子等行业涨幅居前。近期市场情绪持续高涨，资金回流科技赛道，热度较高的科创半导体ETF（588170）早盘小幅上行。
9月17日，光刻机板块强势拉升。根据Wind数据统计，当日光刻机指数（8841237）涨幅为4.24%。其中，行业龙头中芯国际放量上涨近7%，盘中股价创历史新高。板块内多数个股上涨，其中，波长光电“20CM”涨停，福晶科技、奥普光电涨停，苏大维格上涨14.66%，茂莱光学上涨6.
